🌀 진공펌프 용량 계산기 | 도달시간 얼마나 걸릴까?

챔버 용적

펌프 배기속도

L/min

초기 압력

Torr

목표 압력

Torr

여유계수 (누기·배관 컨덕턴스)

배

목표 도달시간 (선택)

분

진공펌프 용량·도달시간 계산기 사용법

진공 챔버를 설계할 때 가장 먼저 부딪히는 질문은 펌프를 얼마나 큰 것으로 고를지, 그리고 목표 진공도까지 몇 분이 걸리는지입니다. 챔버 용적과 펌프 배기속도, 초기·목표 압력을 입력하면 이론 도달시간과 현실 여유를 반영한 예상 시간, 그리고 목표 시간을 맞추려면 필요한 배기속도가 함께 나옵니다.

계산식은 배기 기본식 t = (V ÷ S) × ln(P₀ ÷ P)입니다. 챔버 용적이 두 배가 되면 시간도 두 배가 되지만, 압력은 로그로 들어가기 때문에 목표 진공도를 열 배 낮춰도 시간은 약 2.3배만 늘어납니다. 대기압 760 Torr에서 1 Torr까지 빼는 데 필요한 로그 값은 약 6.6입니다.

실제 설비는 이 값보다 느립니다. 배관과 밸브의 컨덕턴스 때문에 챔버에서 느끼는 실효 배기속도가 펌프 명판값보다 낮아지고, 미세 누기와 챔버 내벽에서 나오는 가스도 더해지기 때문입니다. 그래서 여유계수를 1.2~2.0배 정도 두고, 굵고 짧은 배관을 쓰는 것이 중요합니다.

이 계산은 등온 조건에서 펌프 배기속도가 일정하다고 가정한 개략값입니다. 저진공 영역에서는 배기속도가 압력에 따라 크게 변하므로 제조사의 배기속도 곡선을 함께 확인하고, 고진공 공정은 별도 해석으로 검증하시기 바랍니다.

자주 묻는 질문

펌프를 두 배 큰 것으로 바꾸면 시간도 절반이 되나요?

배관 컨덕턴스가 충분하다면 대체로 그렇습니다. 하지만 배관이 가늘고 길면 실효 배기속도가 배관에 묶여, 펌프만 키워도 기대만큼 빨라지지 않습니다.

여유계수는 얼마로 잡아야 하나요?

새 설비이고 배관이 짧으면 1.2배 정도로 충분합니다. 누기 이력이 있거나 수분이 많은 챔버, 배관이 긴 설비는 1.5~2.0배까지 잡는 것이 안전합니다.

진공펌프 용량·도달시간 계산기 사용법

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